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廢氣預(yù)處理措施通常有除塵、除濕、除霧、除高沸物等。針對(duì)待處理的VOCs廢氣實(shí)際情況,選取適當(dāng)?shù)膹U氣預(yù)處理措施。
比如,半導(dǎo)體生產(chǎn)制造過程對(duì)生產(chǎn)場所的顆粒物有嚴(yán)格的要求,
生產(chǎn)場所通常為潔凈車間。因此,有機(jī)廢氣中的顆粒物含量極少,通常無需進(jìn)行除塵預(yù)處理。
系統(tǒng)監(jiān)控可以從以下幾個(gè)方面開展:
(1)加強(qiáng)廢氣濃度的監(jiān)測(cè):在廢氣系統(tǒng)設(shè)計(jì)前,要對(duì)各廢氣吸入點(diǎn)的可燃物濃度進(jìn)行檢測(cè)分析,控制各廢氣吸入點(diǎn)的易燃物質(zhì)的濃度低于爆炸下限,
并要進(jìn)行正常工作狀態(tài)或非正常工作狀態(tài)下的可燃?xì)怏w濃度檢測(cè)。
(2)加強(qiáng)設(shè)備管路濕度監(jiān)控,獲取管道內(nèi)物質(zhì)凝結(jié)情況、獲取管路濕度情況,及時(shí)發(fā)現(xiàn)高濕度廢氣,做好預(yù)防預(yù)警措施。
(3)加強(qiáng)設(shè)備壓降監(jiān)控,及時(shí)發(fā)現(xiàn)設(shè)備超壓、管路阻塞等異常情況。
(4)加強(qiáng)再生區(qū)溫度監(jiān)控,并將監(jiān)控信號(hào)接入中控系統(tǒng)。
沸石轉(zhuǎn)輪脫附熱量不足,高沸點(diǎn)有用物有殘留。當(dāng)沸石轉(zhuǎn)輪吸附設(shè)備的脫附層熱量不夠時(shí),就無法將吸附質(zhì)全部
脫附,導(dǎo)致吸附層上會(huì)殘留有用物,如果時(shí)間長了的話,會(huì)堵住沸石轉(zhuǎn)輪吸附層,導(dǎo)致速率降低。減緩沸石轉(zhuǎn)輪堵塞周
期,延長使用壽命的方法,可以通過在轉(zhuǎn)輪吸附濃縮設(shè)備前,添加高沸點(diǎn)有用物的去掉裝置。
比如除霧器、冷凝器等或者控制脫附溫度,降低沸石轉(zhuǎn)輪的濃縮倍數(shù)。當(dāng)然,我們還要做好定期的維護(hù)保養(yǎng)工作:清潔劑清洗、300°C的高溫脫附。
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